Dengan perkembangan pesat industri semikonduktor, skala industri telah meningkat dengan pesat, dan peralatan pembuatan semikonduktor terus berkembang menjadi ketepatan dan kerumitan. Oleh kerana seramik mempunyai kelebihan kekerasan yang tinggi, modulus elastik yang tinggi, rintangan haus yang tinggi, penebat yang tinggi, rintangan kakisan, pengembangan yang rendah, dan sebagainya, ia boleh digunakan sebagai bahagian mesin penggilap silikon, peralatan rawatan haba epitaksi/pengoksidaan/resapan, mesin litografi, peralatan pemendapan, peralatan pengukiran semikonduktor, mesin implantasi ion dan peralatan lain, jadi penyelidikan dan pembangunan serta pengeluaran bahagian seramik ketepatan secara langsung mempengaruhi perkembangan industri semikonduktor. Keperluan teknikal penyediaannya semakin tinggi.
Alumina ketulenan tinggi, alumina 99.7%-99.9%.
Kekuatan mekanikal yang tinggi, rintangan haus yang tinggi, penebat elektrik yang tinggi, kestabilan kimia yang tinggi, rintangan haba yang baik dan rintangan kakisan. Pada masa ini, penggunaan wafer silikon semikonduktor pengisaran cakera seramik adalah kaedah pengisaran yang paling unggul dan canggih. Proses pengisaran dua sisi digunakan untuk mengisar wafer silikon yang dipotong, dan kualiti wafer pengisaran dipertingkatkan dengan menambah baik proses pengisaran (bahan cakera, cecair pengisaran, tekanan pengisaran dan kelajuan pengisaran, dll.). Khususnya, penggunaan plat seramik dan bukannya plat besi tuang, untuk mengelakkan pengisaran pada permukaan utama wafer yang disebabkan oleh parut atau pencemaran, mengurangkan pengenalan ion logam, boleh mengurangkan pemprosesan silikon seterusnya, memendekkan masa proses (karat) seterusnya, meningkatkan kecekapan pengeluaran, dan mengurangkan kehilangan pemprosesan silikon, dan meningkatkan penggunaan silikon dengan ketara.
Plat penggilap wafer alumina tinggidigunakan dalam industri semikonduktor, petroleum, kimia, fotovoltaik, hablur cecair dan lain-lain, seperti bahagian mekanikal, bahagian elektronik, cakera induksi gelombang mikro, bahan penebat dan bahagian lain, peranti semikonduktor, peralatan vakum, peralatan pembuatan hablur cecair dan bahagian lain. Seramik alumina bersaiz besar dan ketulenan tinggi mempunyai nilai aplikasi yang penting dalam industri nilam dan industri cip semikonduktor. Ia merupakan sokongan utama dan bahan habis pakai untuk penggilapan mekanikal kimia (CMP) wafer silikon nilam dan semikonduktor. Seramik alumina bersaiz besar dan ketulenan tinggi juga boleh digunakan sebagai substrat alumina untuk LCD.
Masa siaran: 27 Jun 2024