Chemshunplat penggilap wafer alumina/meja putar diperbuat daripada alumina 99.7-99.9% ketulenan tinggi. Seramik alumina ketulenan tinggi mempunyai ketegaran yang luar biasa dan rintangan haus yang sangat baik untuk penggilapan wafer dan mengekalkan bentuk permukaan yang baik dalam tempoh masa yang panjang. Ia dibentuk oleh PIBM. Ia merupakan ahli industri semikonduktor kerana kestabilan terma dan dimensi yang tiada tandingan serta rintangan terhadap persekitaran peralatan pemprosesan mikrocip yang teruk.
Perancangan Kimia-Mekanikal (CMP), juga dikenali sebagai Penggilapan Kimia-Mekanikal, ia merupakan teknologi dalam proses pembuatan peranti semikonduktor. Ia menggunakan kakisan kimia dan daya mekanikal untuk meratakan wafer silikon atau bahan substrat lain semasa pemprosesan.
Peralatan CMP terbahagi kepada dua bahagian: bahagian penggilap dan bahagian pembersihan. Bahagian penggilap terdiri daripada 4 bahagian, iaitu 3 meja putar penggilap dan modul pemuatan dan pemunggahan wafer. Bahagian pembersihan bertanggungjawab untuk pembersihan dan pengeringan wafer untuk mencapai "pengeringan masuk dan pengeringan keluar" wafer. Dalam keseluruhan peralatan penggilap, seramik alumina memainkan peranan penting.
Seramik alumina biasanya digunakan untuk menyediakan cakera penggilap wafer, yang memerlukan ketulenan tinggi, ketahanan kimia yang tinggi, dan kawalan bentuk dan kekasaran permukaan yang baik.
Cakera pengisar seramik Chemshun 99.7% Al2O3 diperbuat daripada bahan seramik termaju, yang sesuai untuk pengisaran halus pelbagai bahan, terutamanya untuk pengisaran bahan rapuh seperti wafer, seramik dan kaca. Cakera pengisar seramik kami boleh dibuat kepada pelbagai saiz mengikut model pengisaran dan penggilapan yang berbeza.
Masa siaran: 30 Mei 2025